อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้โลหะผสมหลากหลายชนิดนอกเหนือจากเหล็กกล้าไร้สนิม 304/316L ทั่วไป เพื่อจัดการกับความท้าทายเฉพาะในด้านความต้านทานการกัดกร่อน ความคงตัวที่อุณหภูมิสูง และการควบคุมการปนเปื้อนของไอออนิก ความเชี่ยวชาญของ BENKOO METAL อยู่ที่การจัดหาและแปรรูปวัสดุทุกประเภท
ตารางด้านล่างขยายกลุ่มวัสดุโดยให้รายละเอียดคุณลักษณะและการใช้งานหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
หมวดหมู่วัสดุ | เกรดทั่วไป / หมายเลข UNS | ลักษณะสำคัญและโลหะวิทยา | การใช้งาน Fab สารกึ่งตัวนำหลัก |
เหล็กกล้าไร้สนิมออสเทนนิติก (มาตรฐาน) | 304/ลิตร (S30400/S30403), 316L (S31603), 316LVM (ละลายด้วยสุญญากาศ) | ทนต่อการกัดกร่อนทั่วไปได้ดีเยี่ยม ขึ้นรูป/เชื่อมได้ดี เกรดคาร์บอนต่ำ “L” ต้านทานการแพ้ การหลอมแบบสุญญากาศช่วยเพิ่มความบริสุทธิ์ | สายบริการทั่วไป การส่งก๊าซที่ไม่สำคัญ เสื้อนอก ส่วนประกอบโครงสร้าง 316L เป็นพื้นฐานสำหรับระบบก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่ |
เหล็กกล้าไร้สนิมออสเทนนิติก (ขั้นสูง) | 904L (N08904), เกรดโมลิบดีนัม 6% (เช่น S31254, AL-6XN®/N08367) | ต้านทานการกัดกร่อนแบบรูพรุนและรอยแยกได้สูงมาก (ค่า PREN สูง) ประสิทธิภาพที่เหนือกว่าในสภาพแวดล้อมเฮไลด์ (คลอไรด์, ฟลูออไรด์) | ระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW), ไลน์สารละลายวางแผนเชิงเคมีเชิงกล (CMP), การทำเคมีแบบเปียกที่เป็นกรด/ด่างเชิงรุก |
เหล็กกล้าไร้สนิมเฟอริติก | 444 (S44400), 446 (S44600) | ความต้านทานการกัดกร่อนจากการแตกร้าวจากความเครียดคลอไรด์ (SCC) ที่ดีและการนำความร้อน แม่เหล็ก | การใช้งานกับน้ำหล่อเย็นหรือสภาพแวดล้อมที่มีแนวโน้มที่จะเกิด SCC ที่เกิดจากคลอไรด์ ซึ่งออสเตนิติกส์อาจล้มเหลว |
ดูเพล็กซ์สแตนเลส | 2205 (S32205/S31803) | โครงสร้างออสเทนไนต์-เฟอร์ไรต์ผสม มีความแข็งแรงสูง (~2x 316L) ต้านทานคลอไรด์ SCC ได้ดีเยี่ยม | ส่วนรองรับโครงสร้าง ฉากยึด และสายสาธารณูปโภคในพื้นที่การผลิตที่ทั้งความแข็งแรงและความต้านทานการกัดกร่อนมีความสำคัญ |
โลหะผสมนิกเกิล | ล้อแม็ก C-276 (N10276), ล้อแม็ก 625 (N06625), ล้อแม็ก 600 (N06600) | ทนทานต่อสารเคมีออกซิไดซ์และรีดิวซ์ที่มีฤทธิ์กัดกร่อนรุนแรงหลายประเภท รักษาความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง | การบริการขั้นสูงสุด: ท่อเตาเผา (การแพร่กระจาย, LPCVD), ห้องปิดแผล, ส่วนประกอบที่ต้องจัดการกรดแก่ (HF, HCl, H₂SO₄) หรือน้ำทิ้งจากพลาสมา |
โลหะผสมชนิดพิเศษและแม่นยำ | ไทเทเนียม Gr. 2 (R50400), โลหะผสมไทเทเนียม-แพลเลเดียม, นิกเกิล 200/201 (N02200/N02201) | ไทเทเนียม: ต้านทานการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม น้ำหนักเบา รองรับสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง | ไทเทเนียม: ห้องและท่อสำหรับสารเคมีที่มีฤทธิ์รุนแรงเป็นพิเศษ (เช่น HCl เข้มข้น คลอรีน) |
แนวทางที่เน้นการใช้งานเป็นศูนย์กลางของ BENKOO METAL และข้อดีที่สำคัญ
การเลือกวัสดุที่ถูกต้องเป็นพื้นฐานของการมีอายุยืนยาวของระบบและความสมบูรณ์ของกระบวนการ วิศวกรของ BENKOO METAL ทำงานร่วมกับลูกค้าเพื่อจับคู่โลหะผสมกับความท้าทายทางเคมี ความร้อน และความบริสุทธิ์เฉพาะของการใช้งาน เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่คุ้มค่าและเชื่อถือได้
คุณภาพและความสม่ำเสมอของโลหะผสมทั้งหมด: ไม่ว่าจะจัดหาโลหะผสมนิกเกิลมาตรฐาน 316L หรือโลหะผสมนิกเกิลขั้นสูง BENKOO METAL บังคับใช้เกณฑ์วิธีคุณภาพที่เข้มงวดเช่นเดียวกัน เรารับประกันองค์ประกอบทางเคมีที่แม่นยำ ความคลาดเคลื่อนของขนาด และ—สำหรับการใช้งานที่สำคัญ—มีการขัดเงาด้วยไฟฟ้า (EP) หรือขัดเงาด้วยเครื่องจักร (MP) พร้อมความหยาบผิวต่ำและจำนวนอนุภาคที่ผ่านการตรวจสอบแล้ว
การจัดหาวัสดุพิเศษที่เชื่อถือได้และการจัดส่งที่รวดเร็ว: เรารักษาความร่วมมือเชิงกลยุทธ์กับโรงงานระดับพรีเมียมและจัดการสินค้าคงคลังที่มีการควบคุมของโลหะผสมเกรดเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ ซึ่งช่วยให้ BENKOO METAL สามารถเสนอเวลารอคอยสินค้าที่คาดการณ์ได้และการจัดหาที่มั่นคงแม้สำหรับวัสดุที่ไม่ค่อยพบบ่อย ช่วยลดความเสี่ยงของโครงการ และรักษากำหนดการการขยายโรงงานหรือการติดตั้งเครื่องมือให้เป็นไปตามแผน
เอกสารครบถ้วนและตรวจสอบย้อนกลับได้: วัสดุทั้งหมดมาพร้อมกับใบรับรองการทดสอบโรงงาน (MTC) และการตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุ (หมายเลขความร้อน) สำหรับท่อ EP/MP จะมีการรับรองเพิ่มเติม รวมถึงรายงานความหยาบของพื้นผิว (Ra) และบันทึกการบรรจุหีบห่อในห้องปลอดเชื้อ ซึ่งสนับสนุนข้อกำหนดด้านการรับประกันคุณภาพและการตรวจสอบของคุณ
ติดต่อ BENKOO METAL เพื่อปรึกษากับผู้เชี่ยวชาญด้านเทคนิคของเรา เราจะช่วยคุณระบุวัสดุและข้อมูลจำเพาะที่เหมาะสมที่สุดจากกลุ่มผลิตภัณฑ์ที่ครอบคลุมของเราสำหรับการใช้งานระบบก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ เคมี หรือกระบวนการเฉพาะของคุณ
หากคุณมีคำถามเกี่ยวกับอุปกรณ์บาร์บีคิวแคมป์ปิ้งโปรดรู้สึก free to contact us.
